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一、微細加工用雙足式大行程微動工作臺的研究（論文文獻綜述）譚令威[1]（2021）在《宏微垂直運動平臺的復合控制與誤差補償研究》文中指出在微電子制造領域,垂直運動平臺具有廣泛的...