一、用廣義Rayleigh波測量壓電薄膜結(jié)構(gòu)的初應(yīng)力（論文文獻(xiàn)綜述）田茹[1]（2021）在《壓電半導(dǎo)體層狀結(jié)構(gòu)中的彈性波傳播》文中指出壓電半導(dǎo)體是一種具有力-電-載流子多場耦...